この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4781317748
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2024年08月01日
この商品の紹介
ＩｏＴに対応する半導体プロセス微細化や３次元微細構造の採用により需要が高まるフォトレジスト材料。フォトレジスト材料および露光技術の特長を最大限に発揮させるためのレジストプロセス技術の最適化を徹底解説する。
最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術/単行本
2,990
円(税込)
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