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真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、ＰＶＤ、ＣＶＤ、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
ドライプロセス表面処理大全/単行本
1,990
円(税込)
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