この商品の詳細
- 出版社
- 東北大学出版会
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4861632969
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2018年06月01日
この商品の紹介
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめた書。並列電子ビーム描画の課題、各種電子源、実証実験結果、応用と今後の課題などについて解説する。
超並列電子ビーム描画装置の開発/単行本
1,990
円(税込)
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