この商品の詳細
- 出版社
- 森北出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4627775619
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2017年01月01日
この商品の紹介
超微細エッチング、プラズマＣＶＤ成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
プラズマプロセス技術/単行本
3,498
円(税込)
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