この商品の詳細
- 出版社
- 秀和システム
- 出版社シリーズ
- 図解入門－How‐nual－
- ISBN
- 4798047263
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2016年08月01日
この商品の紹介
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み/単行本
330
円(税込)
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