この商品の詳細
- 出版社
- テクノシステム
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4924728677
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2013年01月01日
この商品の紹介
ナノテクノロジーを中軸とする現代ＩＴ産業の基幹技術の中で、重要な位置を占める薄膜作製技術。薄膜の評価を適切に行うための基本的評価技術から基本物性測定、薄膜の応用事例とその性能評価法までをわかりやすく解説する。
薄膜の評価技術ハンドブック/単行本
4,998
円(税込)
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