この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- エレクトロニクスシリーズ
- ISBN
- 4781305509
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2012年08月01日
この商品の紹介
第一線で活躍する研究者らが、露光装置、トラック、レジスト材料、マスク、シミュレーションなど、液浸リソグラフィのプロセスと材料に関する最新の技術開発動向、課題、将来展望などを解説する。
液浸リソグラフィのプロセスと材料/単行本
2,200
円(税込)
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