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半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、２１世紀の半導体製造装置なども紹介する。
はじめての半導体製造装置/単行本
1,790
円(税込)
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