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半導体デバイスの種類と構造、基本プロセス技術といった基礎知識から、ＶＬＳＩデバイスの最先端分野の現状と課題まで、半導体製造技術のなかの半導体プロセスについて幅広く解説した入門書。
はじめての半導体プロセス/単行本
990
円(税込)
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