この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784781301679
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2009年10月01日
この商品の紹介
マイクロナノ領域でのモノづくりで、その中心的な役目を担っている「エッチング技術」に焦点を絞り、その基礎から応用までを網羅的に解説。半導体以外の材料や、エッチング技術の高機能化の実例にも触れる。
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術/単行本
800
円(税込)
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