この商品の詳細
- 出版社
- 日刊工業新聞社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784526061196
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2008年08月01日
この商品の紹介
太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。反応性高速スパッタに関する現場の悩み・疑問をＱ＆Ａ形式で解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。
現場のスパッタリング薄膜Q＆A/単行本
330
円(税込)
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