この商品の詳細
- 出版社
- 工業調査会
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784769312703
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2007年12月01日
この商品の紹介
研磨やめっきなどの半導体デバイス製造プロセス用のウェットプロセスを扱った総合解説書であると同時に、開発の手引書。半導体製造装置の講義用教科書をもとにしたもの。図表、ユニークなイラストも多数掲載。
図解半導体ウェットプロセス最前線/単行本
1,480
円(税込)
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