この商品の詳細
- 出版社
- 日刊工業新聞社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4526057916
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2006年12月01日
この商品の紹介
薄膜の基礎や薄膜を作る方法を紹介し、薄膜の成長過程がその特性に大きな影響を与えること、及び基本特性の評価について概説。良品質の薄膜を得るための条件を挙げ、垂直磁気記録と超ＬＳＩに関して薄膜技術との関係を述べる。
絵とき薄膜基礎のきそ/単行本
400
円(税込)
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