この商品の詳細
- 出版社
- 日刊工業新聞社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4526054208
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2005年02月01日
この商品の紹介
材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用/単行本
1,370
円(税込)
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