この商品の詳細
- 出版社
- 共立出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4320043723
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2005年02月01日
この商品の紹介
高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
レジスト材料/単行本
990
円(税込)
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